碳氮共滲：以滲碳為主，同時滲入氮的一種化學熱處理工藝。碳氮共滲溫度一般在800-900℃，滲層內的含氮量較低；碳氮共滲淬回火后得到的表面組織為含氮馬氏體和殘余奧氏體。碳氮共滲淬回火后可以提高鋼的硬度，耐磨性和疲勞輕度。碳氮共滲一般適用于低碳鋼及低碳合金鋼。

氮碳共滲：以滲氮為主，同時滲入碳的一種化學熱處理工藝，也叫低溫軟氮化；氮碳共滲溫度一般在500-600℃；滲層內的碳含量較低；零件滲氮后表面得到一層化合物，不需要淬火就可以得到高硬度，氮碳共滲可以提高鋼的耐磨性和抗腐蝕性，氮碳共滲處理溫度低、時間短、變形小，一般適用于碳鋼、合金鋼和一些模具的熱處理。