碳氮共滲常用的共滲溫度為820～880℃（低碳鋼及低合金鋼為840～860℃）。碳氮共滲后的熱處理常用以下幾種工藝方法。

(1)直接淬火+低溫回火

1)工藝特點(diǎn)。碳氮共滲后由共滲溫度(820～860℃)直接淬火，然后進(jìn)行低溫回火160～200℃×2～3h。

2)工藝適用范圍。工藝簡(jiǎn)單適用于中、低碳鋼及低合金鋼，可獲得滿意的表面及心部組織。一般選擇油淬（或水淬）。

(2)分級(jí)淬火+低溫回火

1)工藝特點(diǎn)。碳氮共滲后由共滲溫度820～860℃直接在110～200℃熱油或堿浴中分級(jí)淬火1～15min后空冷，再進(jìn)行160～200℃低溫回火。

2)工藝適用范圍。工件變形小，適用于尺寸要求較嚴(yán)格的合金鋼件。

(3)有次加熱淬火+低溫回火

1)工藝特點(diǎn)。碳氮共滲后空冷或在冷卻坑中緩冷，然后重新加熱淬火+低溫回火熱處理。

2)工藝適用范圍。適用于共滲后需機(jī)械加工或因各種原因不宜直接淬火的工件。

(4)直接淬火、冷處理+低溫回火

1)工藝特點(diǎn)。碳氮共滲后從共滲溫度直接淬火，然后在-80～-70℃介貢中進(jìn)行冷處理，隨后進(jìn)行低溫回火，以減少表層殘留奧氏體，提高硬度，穩(wěn)定尺寸。

2)工藝適用范圍。適用于含鉻、鎳較多的合金鋼，如12CrNiA、20Cr2Ni4A、18CrNiWA等。

(5)緩冷，高溫回火，再重新加熱淬火+低溫回火

1)工藝特點(diǎn)。碳氮共滲后空冷或在冷卻坑中緩冷，然后進(jìn)行高溫回火熱處理（應(yīng)在生鐵屑或保護(hù)氣氛中），以減少殘留奧氏體，再重新加熱淬火+低溫回火。

2)工藝適用范圍。適用于含鉻、鎳較多的合金鋼，以及碳氮共滲后尚需機(jī)械加工件。