對于淬火變形來說冷卻方式有較大的影響。一般采用均勻冷卻的方法。

相變引起的尺寸變化能夠因鋼材的合理選擇而變小。但是，當(dāng)鋼種若已選定時(shí)，則由此而產(chǎn)生的熱處理尺寸變化是不可避免的。在實(shí)際淬火操作中，主要是因鋼件各部位不同時(shí)發(fā)生相變而產(chǎn)生的變形、開裂及熱歪扭。

為了縮小各部位馬氏體化時(shí)間上的錯開，采用在出現(xiàn)屈氏體組織附近的溫度范圍實(shí)行急冷，而在Ms點(diǎn)以下實(shí)行緩冷的方法較好。淬火冷卻劑使用水時(shí)，則在Ms點(diǎn)以下冷卻速度較大，則變形很大。要在Ms點(diǎn)以下實(shí)行緩冷，最好采用油中淬火，空氣中冷卻。水中急冷后，估計(jì)達(dá)到Ms點(diǎn)附近溫度的時(shí)間，即從水中取出，移入油中，吹風(fēng)冷卻，空冷等。若淬火移入油中的時(shí)間能夠很好地掌握的話將是有效的。

等溫淬火或者分級淬火對于減輕變形尤其有效。在等溫淬火中有利于進(jìn)行矯正歪扭。

高頻淬火，由于加熱表皮，整體變形小是個優(yōu)點(diǎn)。同時(shí)正確地支撐零件，使用穩(wěn)定的高頻加熱裝置，以一定量的水，一定的方向，一定的時(shí)間進(jìn)行噴射淬火，這樣產(chǎn)生的歪扭也是穩(wěn)定的。但這時(shí)同樣要注意被硬化表面應(yīng)均勻地進(jìn)行冷卻。

將應(yīng)硬化的部分浸在液體中（水中或油中），運(yùn)用安裝了純鐵的電感以高電流密度進(jìn)行高頻加熱，連續(xù)淬火。這種方法能使歪扭特別小。鋼件在液體中加熱，零件表面在液體沸騰的溫度下加熱則形成了一層蒸汽薄膜，由于這種膜妨礙傳熱，所以加熱時(shí)的熱損失并不太大。這種方法是在進(jìn)行刻模齒輪的淬火硬化時(shí)采用成功的。同時(shí)也適用于大直徑管材的內(nèi)表面淬火等場合。